中科院辟谣光刻机：不存在大陆无法制造等说法

近日，有媒体报道称，中国目前没有一款能够达到高精度的光刻机，只能借助海外品牌，但在人造卫星等重大领域，外国国家可能会限制向中国出口高端光刻机。对此，中国科学院院士、中国科学院微电子研究所研究员、纳米科技研究院院长张洪斌表示，这种说法纯属谣传。

张洪斌介绍，事实上，中科院微电子研究所出品的BW-01高端光刻机已经达到了国际一流水平，是没有问题的。同时，我国还有很多企业在研发高端光刻机等核心装备，虽然目前还有一定差距，但这并不意味着不存在大陆无法制造的情况。

在此，中科院微电子研究所特此辟谣，呼吁社会各界不信谣、不传谣。